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Unsere Referenzen in der Halbleiterundustrie:

Infineon Technologies Dresden GmbH  
Installation der Grundversorgung und Hook-up für Hausvakuum (HVAC), Prozessabwasser (PAW), Deionisiertes Wasser (DIW), Chemische Dosierung und Chemisch-Mechanisches Polieren (CMP), Prozesszu- und -fortluft (PFO)  
   
GLOBALFOUNDRIES Dresden Module One LLC & Co. KG – Annex  
Erweiterungen der Gewerke Prozesskühlwasser (PCW), Prozessabwasser (PAW) und Exhaust (PFO)
 
   
Mikroelektronikwerk AMD Saxony Dresden  
Installation der Grundversorgung und Hook-up für Prozesskühlwasser (PCW) und Prozessabwasser (PAW)  
   
Mikroelektronikwerk AMTC GmbH & Co. KG Dresden  
Installation der Grundversorgung für Prozesskühlwasser (PCW), Prozessabwasser (PAW), Prozessvakuum (PVAC) und Prozessfortlluft (PFO)
 
   
X-FAB Dresden GmbH & Co. KG  
Installation der Grundversorgung und Hook-up für Deionisiertes Wasser (DIW), Prozesskühlwasser (PCW), Prozessabwasser (PAW) und Prozessfortlluft (PFO)  
   
Freiberger Compound Materials GmbH  
Deionisiertes Wasser (DIW) und Chemische Dosierung (Planung und Errichtung einer Chemikaliendosierstation)  
   
Swissbit Germany AG Berlin
 
Installation VE-Wassersystem  
   
Wacker Siltronic AG Freiberg
 
Installation einer Staubsauganlage mit Anschluss an die Doppelbodenabsaugung der Maschinenräume  
   
Zentrum für Mikrosysteme und Materialien Berlin  
Prozessabwasser (PAW) und Reinstgas  
   
Curamik Electronics GmbH Eschenbach
 
Prozesskühlwasser (PCW), Chemikalienver- und -entsorgung, Technische Gase, Installation der Druckluftstation mit Verteilsystem  
   
IMEC Leuven, Belgien  
Installation und Verrohrung einer Reinstwasseranlage, Druckluft und Prozessabluft (PFO)
 
 
   
NPO Integral Minsk, Weißrussland  
Installation und Verrohrung einer Lüftungsanlage  
   

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